Schnelle Justage
Das SP-NG-Interferometer verfügt in der Standardversion über eine integrierte Ausrichtoptik. Der reflektierte Messstrahl wird ausgewertet und eine Abweichung zwischen der Messrichtung und der Objektbewegung visualisiert. Die geometrische Ausrichtung des Systems kann Abbe-Fehler-frei erfolgen.
Long-Range-Laserinterferometer
Mit einer Objektiv-Option und einer speziellen Ausführung des SP-NG-Sensorkopfes können Messungen bis 80 m durchgeführt werden. Für dieses Long-Range-Interferometer sind verschiedene optische Reflektoren einsetzbar. Die maximale Verkippung des Reflektors um die Reflektormitte kann bis zu ±22,5° betragen. Der Einsatz solcher stark kippinvarianten Reflektoren vereinfacht die Justage und Einrichtung des Interferometers erheblich. Der zulässige Bewegungsbereich des Long-Range-Reflektors quer zum Messstrahl beträgt bis ±1,5 mm. Der Umwelterfassung wird bei größeren Längen eine hohe Bedeutung beigemessen. Deshalb können die Systeme optional mit mehreren drahtgebundenen oder auch drahtlosen Temperatursensoren ausgestattet werden, um die Temperaturverteilung in großen Räumen erfassen zu können.
OEM-Konzept
Das Konzept des SP-NG-Messystems ermöglicht einen Sensoraufbau mit einer langzeitstabilen Justage-Option des Messtrahls. Diese Lösung kommt zum Einsatz, wenn die Interferometer als OEM-Komponente in einem kundenspezifischen Aufbau eingesetzt werden. Die Justage bleibt über lange Zeiträume temperatur- und stressresistent. Im OEM-Segment ist eine Ausführung aus an den Messaufbau angepassten Werkstoffen möglich, um einen driftarmen Messaufbau zu erhalten.
Die SIOS Meßtechnik GmbH wurde 1991 gegründet und stellt laserinterferometrische Präzisionsmesssysteme für die Nanometrologie her. Die Messung von Längen, Winkeln, Schwingungen und weiteren Größen erfolgt mit höchster Auflösung und Präzision in Verbindung mit vorteilhaften Anwendereigenschaften. Die flexible Struktur der Firma ermöglicht es, die zu fertigenden Geräte individuell auf spezielle Kundenwünsche und Einsatzbedingungen anzupassen.
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