Für die Evakuierung von Load-Lock-Kammern bietet Busch die kompakte und energieeffiziente Vakuumlösung TORRI. Diese mehrstufigen Drehkolben-Vakuumpumpen zeichnen sich durch niedrigen Enddruck und hervorragende Kammer-Evakuierungszeiten aus, was die Gesamtzykluszeiten reduziert.
Auf der SEMICON Europa präsentiert sich Busch als zuverlässiger Partner für das Sub-Fab-Management, mit Vakuumpumpen, Abluftreinigungsanlagen, sowie entsprechendem Equipment.
Die Vakuumexperten von Busch bieten ferner einen 24h-Service im Bereich Fein- und Hochvakuum, einschließlich Fremdfabrikaten. Dieser Vor-Ort-Service ermöglicht es Kunden, sich vollkommen auf ihre Prozesse zu konzentrieren. Kritische Sub-Fab-Anlagen werden von Busch überwacht und vorausschauend gewartet, was Produktionsausfälle minimiert sowie Energie- und Kosteneinsparungen ermöglicht.
Besuchen Sie Busch Vacuum Solutions auf der SEMICON Europa vom 14. bis 17. November in München. Tauschen Sie sich mit unseren erfahrenen Vakuumexperten auf unserem Gemeinschaftsstand von Silicon Saxony in Halle B1, Standnummer 221 aus.
Busch Vacuum Solutions ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen und Kompressoren.
Das umfangreiche Produktportfolio umfasst Lösungen für Vakuum- und Überdruckanwendungen in sämtlichen Industrien, wie zum Beispiel Chemie, Kunststoff, Halbleiter, Medizintechnik oder Lebensmittel. Dazu gehören auch Design und Bau von maßgeschneiderten Vakuumsystemen sowie ein weltweites Servicenetz.
Die Busch Gruppe ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Weltweit arbeiten über 3.800 Mitarbeiter in mehr als 69 Gesellschaften in über 45 Ländern für Busch Vacuum Solutions. Hauptsitz von Busch ist Maulburg in Baden-Württemberg, im Dreiländereck Deutschland – Frankreich – Schweiz. Außer in Maulburg produziert Busch in eigenen Fertigungswerken in der Schweiz, in den USA, in Großbritannien, Tschechien, Südkorea, Indien und China.
Busch Vacuum Solutions
Schauinslandstraße 1
79689 Maulburg
Telefon: +49 (7622) 681-0
Telefax: +49 (7622) 5484
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